Missions

Participer au bon fonctionnement et au suivi des plateformes de procédés technologiques du LTM (de
l'échantillon jusqu'aux substrats 200mm et 300mm) en salle blanche incluant les procédés de gravure et
de dépôt.
Valoriser les procédés existants en les transférant aux divers utilisateurs ou en les exploitant dans
le cadre de programme contractuel.

Activités

- Activités de support technique :
Assurer le suivi des équipements de gravure par plasma, de dépôt et des outils de diagnostics « in
situ »
Réaliser des maintenances de premier niveau
Former les différents utilisateurs sur ces équipements
Gérer les stocks de substrats et aider les intervenants pour les demandes de lots de substrats

- Activités de support scientifique et technologique :
Participer aux développements de technologies innovantes en lien avec les chercheurs du laboratoire
Participer aux études utilisant des outils de diagnostics et de caractérisation en lien avec les
chercheurs du laboratoire.
Adapter et optimiser des procédés de gravure et dépôt existants dans le cadre de programmes
contractuels.
Assister les utilisateurs dans leur développement de procédés et l'exploitation des données
Tenir à jour un catalogue de procédés standards disponibles sur les différents réacteurs

Compétences

Savoirs :
- Connaissance de la Physique des plasmas et des matériaux
- Maitrise de l'anglais scientifique et technique (Niveau B2 minimum)
- Connaissance en outils informatique pour le pilotage des équipements et le traitement de
données

Savoir-faire :
- Connaissance de procédés de gravure (plasma et humide) et de dépôt (MOCVD, CVD, PVD, PECVD,
ALD)
- Connaissance en technologies du vide et caractérisation des matériaux
- Connaissance du travail en salle blanche, notamment sur les aspects hygiène et sécurité
- Connaissance des procédés de micro fabrication (dépôt, lithographie, gravure,
caractérisation)

Savoir-être :
- Capacité à travailler en équipe
- Autonomie, force de proposition

Contexte de travail

Le Laboratoire des Technologies de la Microélectronique (LTM) est une unité mixte de recherche du
CNRS et de l'Université Grenoble Alpes (UGA). Le LTM regroupe quatre-vingt-dix personnes dont
trente-huit permanents (13 chercheurs, 8 enseignants-chercheurs, 17 techniciens, ingénieurs et
personnels administratifs).

Les activités de recherche du laboratoire sont orientées vers le développement et la caractérisation
des technologies, procédés et matériaux intervenant dans la fabrication des dispositifs
nanoélectroniques. L'originalité du LTM est de travailler sur des équipements à la pointe de la
technologie, localisés dans les salles blanches 200 mm et 300 mm du CEA-Leti. Les recherches
technologiques de base sont donc effectuées pour certaines d'entre elles sur des équipements
industriels de dernière génération et des prototypes, ce qui renforce l'intérêt de ces études et
ouvre un large champ de collaborations aussi bien industrielles (STMicroelectronics, Applied
Materials...) qu'académiques.

L'ingénieur-e d'études en sciences des matériaux / caractérisation travaillera principalement en
lien avec l'équipe PROSPECT du LTM mais son appui à la recherche concernera potentiellement toutes
les activités du laboratoire nécessitant ses compétences. L'équipe PROSPECT a pour objectif de
développer des procédés et matériaux innovants et durables pour répondre aux besoins des dispositifs
émergents de l'opto et nanoelectronique. Ses expertises scientifiques s'orientent autour de
l'hétéroepitaxie, le dépôt de matériaux ainsi que les procédés de gravure par plasma et les
interactions plasma/surfaces qui pilotent les mécanismes de gravure. La personne intégrera l'équipe
technique du LTM qui opère sur ces plateformes (soit 7 ingénieurs) et sera directement sous la
responsabilité du directeur du laboratoire. Elle sera particulièrement en support à 2 ingénieurs sur
les activités de gravure et de dépôt.