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Post Doc dans le domaine de la métrologie dimensionnelle à l'échelle nanométrique (H/F)

Cette offre est disponible dans les langues suivantes :
Français - Anglais

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Informations générales

Référence : UMR5129-MARCLO-007
Lieu de travail : GRENOBLE
Date de publication : jeudi 11 juillet 2019
Type de contrat : CDD Scientifique
Durée du contrat : 12 mois
Date d'embauche prévue : 1 octobre 2019
Quotité de travail : Temps complet
Rémunération : salaire brut mensuel entre 2617.05 € et 3017.31 € selon l'expérience
Niveau d'études souhaité : Doctorat
Expérience souhaitée : Indifférent

Missions

Cette proposition d'emploi s'inscrit dans le contexte du projet Européen MadeIn4 au sein duquel le LTM et le LETI sont impliqués notamment sur des aspects de métrologie dimensionnelle à l'échelle nanométrique. Dans le domaine des nanotechnologies, la réduction de la dimension des motifs ainsi que l'augmentation de leur complexité géométrique rend l'étape de métrologie dimensionnelle critique. Les techniques conventionnelles telles que le SEM, l'AFM ou encore la scattérométrie, bien que performantes sur certains aspects, affichent leurs limites pour délivrer un résultat robuste. Le sujet proposé ici se positionne dans une approche d'hybridation des techniques de métrologie afin d'améliorer cette robustesse. Cette hybridation prendra surtout en considération l'apport d'une nouvelle technique : le CDSAXS. Cette métrologie utilisant les rayons X et auparavant uniquement disponible sur des lignes synchrotron, se démocratise progressivement avec le développement d'équipements « de table ». Les échantillons sur lesquels seront réalisés les mesures seront fournis par la société ST Microelectronics et correspondront à des standards de référence. Outre les paramètres dimensionnels, tels que la hauteur, la largeur ou encore l'inclinaison des bords, la rugosité sur les flancs des motifs pourra également être prise en compte afin d'avoir une approche la plus complète. L'hybridation des techniques se fera par le développement d'outils de machine learning.

Activités

Au cours de ce projet, le candidat aura donc une activité portant sur plusieurs aspects en lien avec la métrologie. La partie expérimentale prendra une part importante du travail afin de mesurer les échantillons par le biais des différents outils évoqués ci-dessus. Compte tenu de la difficulté pour réaliser une quantité significative de mesures (en termes de temps et de disponibilité des équipements) une partie modélisation sera également mise en œuvre afin de reconstruire par la simulation et pour les différentes techniques, les signatures attendues. Ces résultats simulés seront la base de l'apprentissage des outils de machine learning qu'il conviendra également de mettre en place pour la problématique énoncée.
Bien entendu, des travaux antérieurs ont déjà permis de progresser sur certaines parties et le travail présenté ici bénéficiera de ces avancées.

Compétences

Les compétences requises se situent au niveau expérimental des techniques de métrologie dimensionnelle. Une bonne connaissance de quelques-unes d'entre elles est importante. Le candidat devra également montrer un intérêt fort pour le développement logiciel, pour la partie modélisation mais surtout pour le développement des outils de machine learning et l'utilisation des librairies open source associées.
En outre, étant donné que le projet s'inscrit dans une collaboration entre 2 laboratoires, le candidat devra montrer une pro activité, une autonomie, une attitude positive et une volonté d'échange scientifique.

Contexte de travail

Le travail proposé s'inscrit dans une proche collaboration entre le LTM/CNRS/UGA et le LETI/DPFT/SMCP/LPMS.
Le LTM est une unité mixte de recherche CNRS/Université Grenoble Alpes, comportant 4 équipes de recherche et compte environ 90 personnes. Le laboratoire est situé le site du CEA-LETI à Grenoble. Le candidat sera recruté dans le groupe métrologie & Modélisation de l'équipe Lithographie avancée.
Le LETI est un institut du CEA et est un acteur majeur du développement des micro et nanotechnologies dans le monde. Le LPMS est un des 3 laboratoires du SMCP, Service de Métrologie et Caractérisation Physique, qui regroupe près de 120 personnes. Il fait partie de la Plateforme de Nanocaractérisation de Minatec, qui est une des plus importantes d'Europe.

Contraintes et risques

NEANT

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