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H/F DOCTORANT EN MICRO NANO ELECTRONIQUE

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Informations générales

Référence : UMR5270-ANNTUR-002
Lieu de travail : VILLEURBANNE
Date de publication : vendredi 25 octobre 2019
Nom du responsable scientifique : ABDELKADER SOUIFI
Type de contrat : CDD Doctorant/Contrat doctoral
Durée du contrat : 36 mois
Date de début de la thèse : 1 janvier 2020
Quotité de travail : Temps complet
Rémunération : 2 135,00 € brut mensuel

Description du sujet de thèse

Cette thèse s'intègre dans le cadre du projet « Gas Sensing » INL/STMicroelectronics du programme Nano 2022. Le premier objectif concernera l'étude et la sélection de matériaux sensibles pour la détection à température ambiante d'oxydes de carbone (COx) et d'oxydes d'azote (NOx). Les matériaux sélectionnés seront utilisé pour l'intégration de capteurs ultra sensibles sur une technologie CMOS-FDSOI 28 nm basée sur l'utilisation d'un pont diviseur capacitif pour amplifier la sensibilité .
L'ensemble des étapes de fabrication s'effectuera à des températures inférieures à 450°C afin de respecter les exigences de l'intégration en BEOL. Les tests électriques des capteurs intégrés seront ensuite réalisés en régime continu afin de déterminer les températures optimales de fonctionnement. Des mesures dans le domaine temporel seront également effectuées aux points de température optimaux pour déterminer les limites de détection, les temps de réponse et les temps de retour à l'équilibre. La répétabilité des mesures sera également étudiée par l'étude des cycles mesure / régénération des couches sensibles.

Contexte de travail

Ces travaux seront réalisés à l'INL à Lyon pour la synthèse des matériaux et au Laboratoire des Technologies de la Microélectronique (LTM-CNRS) à Grenoble pour l'intégration des capteurs sur CMOS. Les caractérisations en ambiances contrôlées seront réalisées par l'équipe Microcapteurs et Instrumentation de l'IM2NP à Marseille.

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